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產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD鄭科探小型蒸鍍儀
產(chǎn)品簡介
鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實(shí)驗(yàn)室用戶群體設(shè)計(jì)開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。機(jī)架電控一體化設(shè)計(jì)，整體布局緊湊合理，充分考慮人機(jī)工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結(jié)構(gòu)相得益彰。蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機(jī)EL、LED顯示管研究與開發(fā)領(lǐng)域。
| 品牌 | 鄭科探 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
鄭科探小型蒸鍍儀
-熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動(dòng)或自動(dòng)傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲(chǔ)存；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；
- 保護(hù)樣品：配有樣品擋板，可手動(dòng)或自動(dòng)開/關(guān)擋板，達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果；
以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖：
以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機(jī)械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術(shù)資料
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
加熱方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類型 | 鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴(kuò)展 | 機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計(jì)（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
技術(shù)支持&服務(wù)：
1. 技術(shù)支持：在合同簽訂之前，我們的專業(yè)工程師會(huì)在充分了解客戶需求的前提下，為客戶做出*的選型和方案設(shè)計(jì)，使客戶充分了解并理解產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)、性能用途、使用場合、安全注意事項(xiàng)等，以幫助客戶做出正確的選擇。
2. 安裝與培訓(xùn)：在產(chǎn)品使用前，我們會(huì)派專業(yè)工程師為您提供現(xiàn)場技術(shù)支持、培訓(xùn)及演示服務(wù)。
3. 產(chǎn)品質(zhì)保：我們對產(chǎn)品提供12個(gè)月的質(zhì)保期，在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生設(shè)備或配件損壞由公司負(fù)責(zé)賠償或免費(fèi)維修。（耗材和易損件除外）
4. 終身維護(hù)：我們對提供的產(chǎn)品提供終身服務(wù)，對于超過質(zhì)保期限的維修、維護(hù)僅收取材料費(fèi)，免除一切人工費(fèi)用。
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